真空箱式氦檢漏系統(tǒng)操作規(guī)程

一、預(yù)啟動(dòng)檢測(cè)：

1、檢測(cè)提供給系統(tǒng)的壓縮空氣（壓力大于0.6MPa的潔凈壓縮空氣）。

2、檢測(cè)吹氮裝置的氮?dú)夤?yīng)壓力在0.2MPa之間。

3、確保總電源打開。

4、確保所有緊急停止按鈕處于釋放狀態(tài)。

5、檢查輸入氦氣瓶的壓力為0.1MPa。

6、檢查高壓氦氣罐出口手動(dòng)閥處于打開狀態(tài)。

7、檢查排氣管路的出口通暢。

8、檢查PLC通信接口沒有與其它任何通信電纜連接。

9、檢查PLC主機(jī)的運(yùn)行狀態(tài)是否存在運(yùn)行狀態(tài)